| |||
|
|
|
|
ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ |
Научно-исследовательский институт "ПОЛЮС" обладает большим опытом в области разработки и производства специализированного вакуумного и технологического оборудования. Наше оборудование обеспечивает решение широкого круга технологических проблем, в том числе: -нанесение диэлектрических и защитных покрытий - вакуумная сварка, литье и отжиг - ионная очистка и травление. Мы готовы обсудить Ваши технические требования, разработать и поставить оборудование для решения Ваших технологических проблем. |
 |
Установка вакуумного отжига предназначена для обезгаживания частей и сборок электронных приборов в условиях высокого "безмаслянного" вакуума и высокотемпературного отжига. Установка обеспечивает возможность ручной и автоматической откачки загрузочной и рабочей камер, а также программирование изменения температуры резистивных нагревателей, ее индикацию и запись. |
| Остаточное давление в загрузочной камере | 6,6·10-3 Па |
| Остаточное давление в рабочей камере | 6,6·10-6Па |
| Максимальная температура в загрузочной камере | 250 °C |
| Максимальная температура в рабочей камере | 900 °C |
| Точность поддержания температуры в рабочей области | ± 10 °C |
| Размер рабочей области | 180 x 250 мм |
| Максимальная потребляемая мощность | не более 40 кВт |
 |
Установка подготовки и заливки индия предназначена для облуживания индием в высоком "безмаслянном" вакууме металлокерамических корпусов, а также для получения кольцевых индиевых прокладок и заливки индием уплотняемых поверхностей электровакуумных приборов. Перед заливкой исходная индиевая шихта очищается от окислов и загрязнений механическим и термическим способом, при этом осуществляется двойной переплав индия перед загрузкой его в дозатор. Из дозатора индий в высоком вакууме переливается последовательно в двенадцать кассет с изделиями, подлежащими облуживанию, и затвердевает при непрерывной откачке. Установка выполнена на металлических соединениях, прогреваема и обеспечивает возможность получения сверхвысокого вакуума. Термический цикл очистки индия, нагрев кассет с изделиями осуществляется с помощью прецизионного регулятора температуры, оснащенного микропроцессором. |
| Предельный вакуум | 1,3·10-6 Пa |
| Скорость подъема температуры | 5 °C/мин |
| Максимальная температура в технологической камере | 360 °C |
| Точность поддержания температуры | ± 5 °C |
| Остаточное давление в рабочей камере при 360 °C | не более 6,6·10-4 Пa |
| Остаточное давление в прогретой и обезгаженной технологической камере через 24 ч после отключения средств откачки | не более 1,3·10-2 Пa |
| Максимальная потребляемая мощность | не более 15 кВт |
 |
Установка термокомпрессионной сварки предназначена для вакуумноплотного соединения методом термокомпрессионной сварки в вакууме гетероэпитаксиальных структур со стеклянными подложками. Установка термокомпрессионной сварки включает:
|
| Параметры | Значение |
|---|---|
| Предельное остаточное давление при 20 °C в вакуумной технологической камере, достигаемое после предварительного прогрева откачной системы и камеры | 4·10-6 Пa (5·10-8 мм рт. ст.) |
| Время получения предельного остаточного давления | не более 4 ч |
| Рабочее остаточное давление в технологической камере при температуре 650 °C | 4·10-4 Па (5·10-6 мм рт.ст.) |
| Диапазон прогрева рабочей зоны | 100...700 °C |
| Максимальная температура в рабочей зоне | 700 + 20 °C |
| Максимальная скорость подъема температуры в рабочей зоне | 10 °/мин |
| Точность поддержания температуры в рабочей зоне | ± 3 °C |
| Диапазон усилий сжатия свариваемых изделий | 0...20 кгс |
| Потребляемая мощность | 15 кВт |
Россия, 117342, Москва, ул.Введенского, д.3
тел.: (095) 333 0389 факс: (095) 333 0256
e-mail: mail@polyus.msk.ru